HiPace TM MC

Innovation HiPace MC
Magnetgelagerte Turbopumpen mit integrierter Antriebselektronik.
 

Die HiPace MC ist eine magnetgelagerte Turbopumpe mit integrierter Antriebselektronik, die auf höchstem Niveau agiert. Dies gilt nicht nur für
das besonders hohe Saugvermögen, die hohe Kompression und den hohen Gasdurchsatz. Auch die Magnetlagerung, die für außergewöhnlich vibrationsarmes und wartungsfreies Arbeiten sorgt, verkörpert Spitzentechnologie.
 

Vorteile auf einen Blick 
  • Durch integrierte Antriebselektronik entfallen aufwendige Verkabelungen
  • Universell einsetzbar durch hohes Saugvermögen und hohen Gasdurchsatz
  • Extrem niedrige Vibrationen und geräuscharm für sensible Anwendungen
  • Hohe Zuverlässigkeit durch permanente Rotorüberwachung
  • Robustes und langlebiges Fanglager-Konzept
  • Lange Lebensdauer der Elektronikkomponenten durch Wasserkühlung
  • Patentierter Zentrierring mit Anti-Rutsch-Beschichtung zur Erhöhung der Anlagensicherheit
  • Aktives 5-Achsen Magnetlagersystem
  • Beliebige Einbaulage Schnittstellen Profibus und DeviceNet (optional)
  • Semi S2-, F47- und E74-Zertifizierung 
     

 
Anwendungen 
Halbleiterindustrie
- EUV-Lithografie
- Chemische Abscheidung (CVD)
- Physikalische Abscheidung (PVD)
- Ionenstrahlätzen
- Ionenimplantation 
 
Forschung & Entwicklung
- Physikalische Apparaturen
- Weltraumsimulation
 
Beschichtung
- Glasbeschichtung
- Dünne Schichten
- Ophthalmik
- Solarzellenbeschichtung 
 
Industrie
- Metallurgie
- Elektronenstrahlschweißen

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